一、真空系統真空值不高。

　　1、產生緣故：泵溫太高，可能是泵的閥片或內壁劃傷損壞，轉子軸心造成偏移導致單面損壞。

　　2、泵油不太好：油量過低，密封性不嚴；油被環境污染呈淡黃色；油量一切正常，油路堵塞，泵腔內沒有維持適度的油量。

　　3、泵本身漏汽：密封圈、氣針閥墊圈毀壞或未卡緊，排氣閥片毀壞，導致密封性不太好。進風口濾網被阻塞。

　　4、清除方式：修復后重新裝配。加油、換油、查驗油路及油閥的進油量。對于冷凍干燥機具體情況更換密封圈或閥片。拆下來清理。

　　

　　二、真空系統電機超負荷運行，泵運行中有出現異常雜聲、噪音，轉動艱難。

　　1、造成緣故：泵溫太高，可能是泵的閥片或內壁劃傷損壞，轉子軸心造成偏移導致單面磨損。彈黃變形或斷裂，使旋片承受力不勻稱而傳出沖擊聲。濾網毀壞，碎物落入泵內。泵腔內污染比較嚴重，零件生銹。泵腔軸和軸套配合過緊，導致潤化欠佳。

　　2、清除方式：修補后重新裝配，拆換彈黃，拆下來清理，換油，重新裝配，并疏通油路。

　　

　　三、真空系統漏油、噴油。

　　1、造成緣故：轉軸、油標、放進油口等位置的密封圈毀壞或安裝有誤。進風口氣體壓強過高。油量過多，造成噴油。排氣蓋下邊的擋油網裝反，造成油泵。

　　2、清除方式：冷凍干燥機拆換密封圈或重新裝配，設法降低進油量，釋放一部分油，重新裝配。